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使用电子导电性橡胶时,由于导电性填充剂添加量的变化都会引发电阻剧烈变化,所以存在电阻值很难控制的问题。而且,由于橡胶中的导电性填充剂难以均匀分散,所以辊筒的圆周方向和宽度方向上的电阻值不均匀。

对橡胶组合物进行---处理的方法包括使用加压装置和---处理槽的间歇式或连续式---法。用间歇式---法进行---处理制造辊筒时,由于端部和中央部分会产生压力和热传递差,所以电阻值不均匀。






对圆周方向的电阻值的不均匀依然无法---。

此外,银管厂,采用连续---法时,如果---时的热传递没有设法尽量达到均匀,则挤压后的---速度不一致,这样可能电阻值的不均匀程度反而大于间歇式---法。---是在圆周方向上这种倾向更---。
采用连续---法时,在挤压机的挤压筒内的半径方向上有非常大的剪切速度分布,这可能会影响电子导电性填充剂的分散。
而未米的0.18um}艺甚至0.13m工艺,所需要的靶材纯度将要求达到5甚至6n以上。铜与铝相比较,铜具有更高的抗电迁移能力及---的电阻率,合肥银管,能够满足!导体工艺在0.25um以下的亚微米布线的需要但却带米了其他的问题:铜与有机介质材料的附着强度低.并且容易发生反应,导致在使用过程中芯片的铜互连线被腐蚀而断路。

为了解决以上这些问题,需要在铜与介质层之间设置阻挡层。阻挡层材料一般采用高熔点、高电阻率的金属及其化合物,银管厂家,因此要求阻挡层厚度小于50nm,与铜及介质材料的附着性能---。铜互连和铝互连的阻挡层材料是不同的.需要研制新的靶材材料。铜互连的阻挡层用靶材包括ta、w、tasi、wsi等.但是ta、w都是难熔金属.制作相对困难,如今正在研究钼、铬等的台金作为替代材料。
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