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陶瓷靶材

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由表面层和---组成的半导电辊；该表面层具有较高的电阻值，由橡胶组合物制成；---具有较低的电阻值，由导电橡胶组合物组成。该半导电辊的目的在于通过---地平衡表面层和---的电阻值而获得---的静电充电特性。有---使这两种层的厚度高度准确。为使两种层的厚度高度准确，需要较麻烦的管理，并且生产橡胶辊的成本较高。