纯钯靶材报价-香港纯钯靶材-沈阳东创经验丰富

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    2023-12-12

赵总
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在所有应用产业中,半导体产业对靶材溅射薄膜的品质要求是苛刻的。如今12英寸(300衄口)的硅晶片已制造出来.而互连线的宽度却在减小。硅片制造商对靶材的要求是大尺寸、高纯度、低偏析和细晶粒,这就要求所制造的靶材具有---的微观结构。靶材的结晶粒子直径和均匀性已被认为是影响薄膜沉积率的关键因素。另外,纯钯靶材,薄膜的纯度与靶材的纯度关系---,过99.995%(4n5)纯度的铜靶,或许能够满足半导体厂商0.35pm工艺的需求,纯钯靶材加工,但是却无法满足如今0.25um的工艺要求。
















由表面层和---组成的半导电辊;该表面层具有较高的电阻值,香港纯钯靶材,由橡胶组合物制成;---具有较低的电阻值,由导电橡胶组合物组成。该半导电辊的目的在于通过---地平衡表面层和---的电阻值而获得---的静电充电特性。有---使这两种层的厚度高度准确。为使两种层的厚度高度准确,需要较麻烦的管理,并且生产橡胶辊的成本较高。




所述泡沫弹性层包含:至少三种具有不同体积电阻率的导电性橡胶,纯钯靶材报价,这三种导电性橡胶的体积电阻率小于约i x ο14 ω cm ;至少一种体积电阻率为约ixlo14qcm或的绝缘橡胶;以及至少两种导电性填料。



所述绝缘橡胶为选自由三元乙丙橡胶、硅橡胶和丁基橡胶构成的组中的至少一种橡胶。根据本发明的第三方面,所述导电性橡胶和所述绝缘橡胶为氯醚橡胶、丁---橡胶和三元乙丙橡胶,或者为氯丁橡胶、氯醚橡胶、丁---橡胶和三元乙丙橡胶。根据本发明的第四方面,所述绝缘橡胶的含量为橡胶成分总量的约30%至约40%。



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