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平面显示器(fpd)这些年来大幅冲击以阴极射线管(crt)为主的电脑显示器及电视机市场,亦将带动ito靶材的技术与市场需求。如今的ito靶材有两种.一种是采用纳米状态的氧化铟混合后烧结,一种是采用铟锡合金靶材。铟锡台金靶材可以采用直流反应溅射制造ito薄膜,但是靶表面会氧化而影响溅射率,并且不易得到大尺寸的台金靶材。如今一般采取方法生产ito靶材,利用l}irf反应溅射镀膜.它具有沉积速度快.且能控制膜厚,电导率高,纯金靶材,薄膜的一致性好,与基板的附着力强等优点。







超纯金属的制备有化学提纯法如精馏(---是金属氯化物的精馏及氢还原)、升华、溶剂萃取等和物理提纯法如区熔提纯等(见硅、锗、铝、铟)。其中以区熔提纯或区熔提纯与其他方法相 结合有效。

由于容器与药剂中杂质的污染,使得到的金属纯度受到一定的---,只有用化学方法将金属提纯到一定纯度之后,再用物理方法如区熔提纯,才能将金属纯度提到一个新的高度。可以用半导体材料锗及超纯金属铝为例说明典型的超纯金属制备及检测的原理(见区域熔炼)。
人类社会的存在,科学技术的进步和发展,纯金靶材加工,已成为21世纪首要的战略储备物资,纯金靶材生产加工,且与各国的---经济和社会发展有着息息相关的紧密联系,在已知的传统产业和应用领域中,高纯材料、合金、各种深加工的制品(半成品)及化学制品,已被广泛应用到冶金钢铁,石油化工,有机化工,化工,电子电器,四川纯金靶材,汽车制造,光学玻璃,玻璃纤维。

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