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众所周知,靶材材料的技术发展趋势与下游应用产业的薄膜技术发展趋势息息相关,随着应用产业在薄膜产品或元件上的技术改进,靶材技术也应随之变化。如ic制造商.近段时间致力于低电阻率铜布线的开发,预计未来几年将大幅度取代原来的铝膜,纯铂靶材价格,这样铜靶及其所需阻挡层靶材的开发将刻不容缓。另外,纯铂靶材技术,近年来平面显示器(fpd)大幅度取代原以阴极射线管(crt)为主的电脑显示器及电视机市场.亦将大幅增加ito靶材的技术与市场需求。此外在存储技术方面。高密度、大容量硬盘,高密度的可擦写光盘的需求持续增加.这些均导致应用产业对靶材的需求发生变化。下面我们将分别介绍靶材的主要应用领域,纯铂靶材,以及这些领域靶材发展的趋势。







钨-钛(w-ti)膜以及以钨-钛(w-ti)为基的合金膜是高温合金膜,纯铂靶材,具有一系列的优良性能。钨具有高熔点、高强度和低的热膨胀系数等性能,w/ ti 合金具有低的电阻系数、---的热稳定性能。如各种器件都需要起到导电作用的金属布线,例如al 、cu 和ag 等已经被广泛的应用和研究。但是布线金属本身易 氧化、易与周围的环境发生反应,与介质层的粘结性差,易扩散进入si 与sio2 等器件的衬底材料中,并且在较低的温度下会形成金属与si 的化合物, 充当了杂质的角色,使器件的性能大幅度下降。

在使用电子照相方法的打印技术中,已经渐进实现高速打印操作、高图像形成、彩色像形成、以及成像装置小型化,并且变得很普遍。---一直是这些改进的关键。为满足上述需要,必须形成精细分配的---颗粒,使得---颗粒的直径均一,并且使得---颗粒呈球形。至于形成精细分配的---颗粒的技术,近已经开发出直径不超过10nm的---和不超过5pm的---。至于使---呈球形的技术,已经开发出球形度99%以上的---。

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