近年，随着图像的提高，---直径也越来越小。在微孔孔径较大的发泡辊筒中，---进入辊筒的微孔内不易去除，所以存在图像混乱的问题。因此，对于使用微细---的高画质复印机和打印机用辊筒，---是---供给辊，要求更细的微孔。在制造发泡辊筒时，与间歇式方法相比，连续---处理法的优点是能够使发泡微孔的直径更小。以往的导电辊使用了不会因其中的导电性填充剂的不均匀而导---阻值不均匀的离子导电性橡胶，但是问题在于很难采用经济上及效率上都有利的连续---法进行制造。材料的纯度对其性能，---是微电子学、光电子学性能影响很大，现代高技术产业要求制备出超纯金属以利于制作---器件。

所述泡沫弹性层包含:至少三种具有不同体积电阻率的导电性橡胶,这三种导电性橡胶的体积电阻率小于约i x ο14 ω cm ;至少一种体积电阻率为约ixlo14qcm或的绝缘橡胶；以及至少两种导电性填料。

所述绝缘橡胶为选自由三元乙丙橡胶、硅橡胶和丁基橡胶构成的组中的至少一种橡胶。根据本发明的第三方面，所述导电性橡胶和所述绝缘橡胶为氯醚橡胶、丁---橡胶和三元乙丙橡胶，或者为氯丁橡胶、氯醚橡胶、丁---橡胶和三元乙丙橡胶。根据本发明的第四方面，所述绝缘橡胶的含量为橡胶成分总量的约30％至约40％。在所有应用产业中，半导体产业对靶材溅射薄膜的品质要求是苛刻的。

背靶材料：

无氧铜(ofc)– 目前常使用的作背靶的材料是无氧铜，因为无氧铜具有---的导电性和导热性，而且比较容易机械加工。 如果保养适当，无氧铜背靶可以重复使用10次甚至更多。

钼(mo)– 在某些使用条件比较特殊的情况下，如需要进行高温帖合的条件下，无氧化铜容易被氧化和发生翘曲, 所以会使用金属钼为背靶材料或某些靶材如陶瓷甚至某些金属靶材的热膨胀系数无法与无氧铜匹配，同样也需要使用金属钼作为背靶材料。